采用高分辨率成像的(de)明暗场晶圆表面检(jiǎn)测,基于图(tú)像算法、检测模型和良品异(yì)常检(jiǎn)测三(sān)种模式(shì),检出晶圆表面缺陷,并提(tí)供数据统(tǒng)计(jì)分(fèn)析(xī)
2D检测精确度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏(lòu)检(jiǎn)率(lǜ)
ppm
≤50
先进算法储备
AI大模型与小(xiǎo)模型融(róng)合,支(zhī)持基于良品和不良品的模(mó)型训练方式,支持基于大模型的智慧标注和样本生成,解决样(yàng)本不均衡场景下的快速上线,支(zhī)持增量(liàng)学(xué)习模式(shì),控制样(yàng)本(běn)集规(guī)模,提(tí)高模型迭代速度,支持并行、并发的处(chù)理(lǐ)模式
数据(jù)统(tǒng)计和分析功能
用于检测和生产过(guò)程中的(de)数(shù)据统计,提供(gòng)多种看板模版;针对(duì)指定缺(quē)陷种类(lèi)或者(zhě)指(zhǐ)定时(shí)间段,提供多(duō)种良率统计方式;提供多种数据保(bǎo)存接口,生(shēng)产过程(chéng)可追溯;针(zhēn)对工(gōng)业场景特点,支持(chí)灵活自由配置(zhì)显(xiǎn)示(shì)单元(yuán)、统计(jì)指标、结果查询、导出、上传逻辑(jí);集成统一、可视(shì)化的多(duō)机位硬件接口调试工(gōng)具,使调试过程更加便捷
算法特(tè)色(sè)
在(zài)复杂背景影像中。我们依(yī)然可以将污染正确检出;可以将特定特征(zhēng)瑕疵给予消(xiāo)除; 自动产生针痕(hén)屏(píng)蔽。消除针痕位置,抓取针痕外的瑕(xiá)疵