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晶(jīng)圆检(jiǎn)测设备

产品简介

采用高分辨率成像的(de)明暗场晶圆表面检(jiǎn)测,基于图(tú)像算法、检测模型和良品异(yì)常检(jiǎn)测三(sān)种模式(shì),检出晶圆表面缺陷,并提(tí)供数据统(tǒng)计(jì)分(fèn)析(xī)

2D检测精确度
um

1

UPH
pcs/h

60

漏(lòu)检(jiǎn)率(lǜ)
ppm

≤50

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